Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда
Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда
Статья
Автор:
Приборы и методы измерений: Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда
Surface Electric Potential Measurement with a Static Probe
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Приборы и методы измерений: Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда
Surface Electric Potential Measurement with a Static Probe
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда = Surface Electric Potential Measurement with a Static Probe / Р. И. Воробей [и др.]. – DOI 10.21122/2220-9506-2023-14-2-135-144 // Приборы и методы измерений. – 2023. – Т. 14, № 2. – С. 135-144. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/133673. – На рус. яз.
Методы контроля изменений электрического потенциала поверхности широко используются в операциях неразрушающего контроля прецизионных поверхностей, например, в электронной промышленности в процессе изготовления полупроводниковых приборов. Целью работы является расширение области применения методик бесконтактного контроля и измерения электрического потенциала поверхности на основе использования статического отсчётного электрода. Рассмотрены особенности построения и применения устройств измерения электрического потенциала поверхности с использованием неподвижного отсчётного электрода. Несмотря на необходимость увеличения площади зонда по сравнению с устройствами, использующими вибрирующий зонд, методики измерения с неподвижным зондом имеют ряд преимуществ и расширяют область применения измерений электрического потенциала поверхности в контроле изделий с прецизионными поверхностями. Приведены модели формирования измерительного сигнала при наличии пространственной неоднородности электрического потенциала поверхности.
Surface electric potential measurements are widely used in non-destructive inspection and testing of precision surfaces, for example, in the production of semiconductor devices and integrated circuits. Features of the construction and application of devices for measuring the surface electric potential using an immovable reference electrode are considered. Despite the need to increase the area of the probe compared to devices with a vibrating probe, measurement techniques with an immovable probe have a number of advantages and could expand the scope of surface electric potential measurements in the inspection of samples with precise surfaces. Models of the formation of a measuring signal in the presence of a spatial inhomogeneity of surface electric potential are presented and discussed.
621.317.7
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2023г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Информационно-измерительная техника и технологии"
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет
труды сотрудников БНТУ = Энергетика. Электроэнергетика. Теплотехника (труды)
общий = ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПОТЕНЦИАЛ
общий = СТАТИЧЕСКОЕ ЗОНДИРОВАНИЕ
общий = ФОТОЭДС
Измерение электрического потенциала поверхности с использованием статического зонда = Surface Electric Potential Measurement with a Static Probe / Р. И. Воробей [и др.]. – DOI 10.21122/2220-9506-2023-14-2-135-144 // Приборы и методы измерений. – 2023. – Т. 14, № 2. – С. 135-144. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/133673. – На рус. яз.
Методы контроля изменений электрического потенциала поверхности широко используются в операциях неразрушающего контроля прецизионных поверхностей, например, в электронной промышленности в процессе изготовления полупроводниковых приборов. Целью работы является расширение области применения методик бесконтактного контроля и измерения электрического потенциала поверхности на основе использования статического отсчётного электрода. Рассмотрены особенности построения и применения устройств измерения электрического потенциала поверхности с использованием неподвижного отсчётного электрода. Несмотря на необходимость увеличения площади зонда по сравнению с устройствами, использующими вибрирующий зонд, методики измерения с неподвижным зондом имеют ряд преимуществ и расширяют область применения измерений электрического потенциала поверхности в контроле изделий с прецизионными поверхностями. Приведены модели формирования измерительного сигнала при наличии пространственной неоднородности электрического потенциала поверхности.
Surface electric potential measurements are widely used in non-destructive inspection and testing of precision surfaces, for example, in the production of semiconductor devices and integrated circuits. Features of the construction and application of devices for measuring the surface electric potential using an immovable reference electrode are considered. Despite the need to increase the area of the probe compared to devices with a vibrating probe, measurement techniques with an immovable probe have a number of advantages and could expand the scope of surface electric potential measurements in the inspection of samples with precise surfaces. Models of the formation of a measuring signal in the presence of a spatial inhomogeneity of surface electric potential are presented and discussed.
621.317.7
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2023г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Информационно-измерительная техника и технологии"
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет
труды сотрудников БНТУ = Энергетика. Электроэнергетика. Теплотехника (труды)
общий = ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ПОТЕНЦИАЛ
общий = СТАТИЧЕСКОЕ ЗОНДИРОВАНИЕ
общий = ФОТОЭДС
