Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Таратын, Игорь Александрович.
Полупроводниковый газовый сенсор с нагревателем из оксидов металлов = Semiconductor gas sensor with metal oxide heater / И. А. Таратын, А. А. Козуля, А. Н. Рысик // Приборостроение - 2021 = Instrumentation engineering ― 2021: материалы 14-й Международной научно-технической конференции, 17—19 ноября 2021 г., Минск, Республика Беларусь / [редколлегия: О. К. Гусев (председатель) и др.]. – Минск: БНТУ, 2021. – С. 351-352. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/109577. – На рус. яз.

В данной работе рассматривается конструкция и характеристики газового сенсора, реализованные на кремниевой подложке, с использованием планарной технологии. При измерениях выходного сигнала в качестве нагревательного элемента были использованы оксиды металлов III-й группы таблицы Менделеева, которые одновременно являлись газочувствительным слоем. Данная конструкция обеспечивает высокую чувствительность к воздействию оксида азота с концентрацией 2 ppm и оксида углерода с концентрацией 11,8 ppm.
In this paper, the design and characteristics of a gas sensor implemented on a silicon substrate using planar technology are considered. When measuring the output signal, metal oxides of the III group of the periodic table were used as a heating element, which simultaneously served as a gas-sensitive layer. This design provides high sensitivity to the effects of nitric oxide with a concentration of 2 pm and carbon monoxide with a concentration of 11.8 ppm.

621.317

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2021г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ СЕНСОРЫ
труды сотрудников БНТУ = Электротехника (труды)
общий = НАГРЕВАТЕЛЬНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
общий = ОКСИДЫ МЕТАЛЛОВ