Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Судхансу Патро - Влияние температуры отжига и толщины пленки Ni/Ti, полученной магнетронным напылением, на ее микр...
Судхансу Патро - Влияние температуры отжига и толщины пленки Ni/Ti, полученной магнетронным напылением, на ее микр...
Статья
Автор: Судхансу Патро
Металловедение и термическая обработка металлов: Влияние температуры отжига и толщины пленки Ni/Ti, полученной магнетронным напылением, на ее микр...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Судхансу Патро
Металловедение и термическая обработка металлов: Влияние температуры отжига и толщины пленки Ni/Ti, полученной магнетронным напылением, на ее микр...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Судхансу Патро.
Влияние температуры отжига и толщины пленки Ni/Ti, полученной магнетронным напылением, на ее микроструктуру и поведение при наноиндентировании / Судхансу Патро, Кулдип Кумар Саксена, Аджит Бехера // Металловедение и термическая обработка металлов. – 2023. – № 3. – С. 40-45. – На рус. яз.
Исследована зависимость микроструктуры и механических свойств от толщины покрытий Ni/Ti, полученных на подложке Si(100) методом магнетронного напыления, и температуры последующего отжига. Измерены толщина и шероховатость поверхности покрытий с использованием профилометрии и атомно-силовой микроскопии. Методом наноиндентирования определены сопротивление проникновению индентора, твердость и модуль Юнга. Установлено, что что наиболее высокими механическими свойствами обладают слои минимальной толщины. Повышение температуры отжига, проводимого после напыления, способствует постепенному торможению процесса укрупнения атомных кластеров и улучшению механических свойств слоя.
621.785.3:621.793
общий = БД Техника
общий = МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
общий = ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
общий = НАНОИНДЕНТИРОВАНИЕ
общий = МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
общий = ОТЖИГ
Судхансу Патро.
Влияние температуры отжига и толщины пленки Ni/Ti, полученной магнетронным напылением, на ее микроструктуру и поведение при наноиндентировании / Судхансу Патро, Кулдип Кумар Саксена, Аджит Бехера // Металловедение и термическая обработка металлов. – 2023. – № 3. – С. 40-45. – На рус. яз.
Исследована зависимость микроструктуры и механических свойств от толщины покрытий Ni/Ti, полученных на подложке Si(100) методом магнетронного напыления, и температуры последующего отжига. Измерены толщина и шероховатость поверхности покрытий с использованием профилометрии и атомно-силовой микроскопии. Методом наноиндентирования определены сопротивление проникновению индентора, твердость и модуль Юнга. Установлено, что что наиболее высокими механическими свойствами обладают слои минимальной толщины. Повышение температуры отжига, проводимого после напыления, способствует постепенному торможению процесса укрупнения атомных кластеров и улучшению механических свойств слоя.
621.785.3:621.793
общий = БД Техника
общий = МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
общий = ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
общий = НАНОИНДЕНТИРОВАНИЕ
общий = МИКРОСТРУКТУРЫ (физ.)
общий = ОТЖИГ