Электронный каталог НБ БНТУ

Электронный ресурс
Н-8693

Исследование структуры и свойств силицидов содержащих Ti, Cu, Ni, формируемых в процессе изготовления катодов мишеней для вакуумно-плазменного напыления [Электронный ресурс]: отчет о НИР (заключительный) / Белорусский национальный технический университет; рук. И. А. Иванов; исполн. Э. В. Ковалевич. – Электрон. дан. – Минск: [б. и.], 2019. – 1 электрон. опт. диск (CD-ROM). - N ГР 20191017. – Систем. требования: IBM PC- совместимый ПК; Windows XP и выше; CD-ROM дисковод; мышь. – Загл. с титул. экрана: 0.00.

621.793.1
621.793.7

общий = СИЛИЦИДЫ
общий = ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = ВАКУУМНОЕ НАПЫЛЕНИЕ
общий = ИСПАРИТЕЛЬНЫЕ УСТАНОВКИ
общий = ИОННО-ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ