Электронный каталог НБ БНТУ

Электронный ресурс

Разработка методов фотостимулированной сканирующей зондовой электрометрии для контроля параметров приповерхностных слоев полупроводниковых пластин в рамках задания "Разработка и внедрение новых методов исследований элементного состава, микроструктуры, электрофизических и геометрических параметров изделий микроэлектроники и их отдельных элементов на основе высоколокальных процессов пробоподготовки, нанозондирования, электрофизических комплексов, электронной и оптической микроскопии" [Электронный ресурс]: отчет о НИР (заключительный): ГБ 16-40 / Белорусский национальный технический университет; рук. Жарин А. Л.; исполн.: Владимирова Т. Л. [и др.]. – Электрон. дан. – Минск: [б. и.], 2018. – 1 электрон. опт. диск (CD-R). - № ГР 20161782. – Систем. требования: IBM PC - совместимый ПК ; Windows XP и выше ; CD-ROM дисковод ; мышь. – Загл. с титул. экрана.

621.315.592:620.179.1
620.191.4
535.215

общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПЛАСТИНЫ
общий = ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
общий = НЕРАЗРУШАЮЩИЙ КОНТРОЛЬ
общий = ЗОНДОВЫЕ МЕТОДЫ
общий = ЭЛЕКТРОМЕТРИЯ
общий = ФОТОЭДС
общий = ПАРАМЕТРЫ (физ., техн.)