Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Колос, В.В. - Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN/Ti/Si в тех...
Колос, В.В. - Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN/Ti/Si в тех...
Автореферат
Автор: Колос, В.В.
Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN/Ti/Si в тех... : автореферат диссертации ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07
2012 г.
ISBN отсутствует
Автор: Колос, В.В.
Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN/Ti/Si в тех... : автореферат диссертации ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07
2012 г.
ISBN отсутствует
На полку
Автореферат
А-37815
Колос, В.В.
Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN/Ti/Si в технологии интегральных микросхем: автореферат диссертации ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / В.В. Колос; кол. авт. Белорусский государственный университет (Минск). – Минск, 2012. – 23 с.: ил.
общий = СИЛИЦИДЫ ТИТАНА
общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
общий = МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
общий = ВАКУУМНО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
общий = ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ
общий = МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
общий = ЛЕГИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
общий = ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ
общий = ТВЕРДОФАЗНЫЕ РЕАКЦИИ
общий = ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
общий = РАСТРОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
общий = ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
общий = ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ
А-37815
Колос, В.В.
Формирование слоев силицидов титана методом быстрой термической обработки системы TiN/Ti/Si в технологии интегральных микросхем: автореферат диссертации ... канд. физ.-мат. наук : 01.04.07 / В.В. Колос; кол. авт. Белорусский государственный университет (Минск). – Минск, 2012. – 23 с.: ил.
общий = СИЛИЦИДЫ ТИТАНА
общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
общий = МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
общий = ВАКУУМНО-ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
общий = ТЕРМИЧЕСКОЕ НАПЫЛЕНИЕ
общий = МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ СТРУКТУРЫ
общий = ЛЕГИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
общий = ПОВЕРХНОСТНАЯ ДИФФУЗИЯ
общий = ТВЕРДОФАЗНЫЕ РЕАКЦИИ
общий = ЭЛЕКТРОННАЯ СПЕКТРОСКОПИЯ
общий = РАСТРОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
общий = ОЖЕ-СПЕКТРОСКОПИЯ
общий = ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ
| Филиал | Всего | Доступно для брони | Доступно для выдачи | Бронирование |
|---|---|---|---|---|
| ЧЗ НР | 1 | - | - | Недоступно |