Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Райнов, Ю.А. - Тепло-и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния
Райнов, Ю.А. - Тепло-и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния
Статья
Автор: Райнов, Ю.А.
Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование: Тепло-и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Райнов, Ю.А.
Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование: Тепло-и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Райнов, Ю.А.
Тепло-и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния / Ю.А. Райнов, С.М. Турилин, Ю.П. Райнова, Ю.Д. Чистяков // Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование / кол. авт. Центральный научно-исследовательский институт "Электроника". – 1987. – Вып.17. – С. 1-64.
621.793.162:517
общий = БД Информационные издания
общий = КРЕМНИЙ
общий = МАССООБМЕН
общий = КОНВЕКТИВНЫЙ ТЕПЛООБМЕН
общий = ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ
Райнов, Ю.А.
Тепло-и массоперенос при газофазной эпитаксии кремния / Ю.А. Райнов, С.М. Турилин, Ю.П. Райнова, Ю.Д. Чистяков // Обзоры по электронной технике. Серия 7: Технология, организация производства и оборудование / кол. авт. Центральный научно-исследовательский институт "Электроника". – 1987. – Вып.17. – С. 1-64.
621.793.162:517
общий = БД Информационные издания
общий = КРЕМНИЙ
общий = МАССООБМЕН
общий = КОНВЕКТИВНЫЙ ТЕПЛООБМЕН
общий = ГАЗОФАЗНАЯ ЭПИТАКСИЯ