Электронный каталог НБ БНТУ

Многотомник

Васильев, В.Ю.
Аппаратура и методика осаждения слоев при пониженном давлении / В.Ю. Васильев, М.С. Сухов. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1985. – (Обзоры по электронной технике. Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) .
Книга
621.3 В19

Васильев, В.Ю.
Ч.1 : Аппаратура для осаждения слоев при пониженном давлении: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1973-1984 гг.) / В.Ю. Васильев, М.С. Сухов. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1985. – 46 с.: ил., табл. – (Обзоры по электронной технике; вып.3(1087). Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) . - .: 0.60.

621.382.049.77.002:621.793.162(048.8)

общий = ОСАЖДЕНИЕ
общий = ДАВЛЕНИЕ