Электронный каталог НБ БНТУ

Книга
621.3 Э45

Электрофизические процессы и оборудование в технологии микро- и наноэлектроники: монография / А.П. Достанко, А.М. Русецкий, С.В. Бордусов, В.Л. Ланин, Л.П. Ануфриев, С.В. Карпович, В.В. Жарский, В.И. Плебанович, А.Л. Адамович, Ю.Г. Грозберг, Д.А. Голосов, С.М. Завадский, Я.А. Соловьев, И.В. Дайняк, Н.С. Ковальчук, И.Б. Петухов, Е.В. Телеш, С.И. Мадвейко; под ред. А.П. Достанко, А.М. Русецкий. – Минск: Бестпринт, 2011. – 215 с.: ил. - ISBN 978-985-687-338-9: 30000.00.

621.382.049.77:621.7/.9.048
621.38-022.532:621.7/.9.048

общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = НАНОЭЛЕКТРОНИКА
общий = ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
общий = ПРЕЦИЗИОННАЯ ОБРАБОТКА
общий = МИКРОСВАРКА
общий = МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ОБРАБОТКА МАТЕРИАЛОВ