Электронный каталог НБ БНТУ

Статья

Комаров, Ф.Ф.
Моделирование технологических процессов субмикронной электроники для систем проектирования интегральных схем / Ф.Ф. Комаров, А.Ф. Комаров, А.М. Миронов, Г.М. Заяц, Ю.В. Макаревич, С.А. Мискевич // Вестник Белорусского государственного университета. Серия 1: Физика. Математика. Информатика: научно-теоретический журнал / гл. ред. В.Г. Рудь; учредитель Белорусский государственный университет (Минск). – 2011. – N3. – С.26-32.

Разработан программный комплекс для моделирования процессов низкоэнергетической имплантации легирующих примесей в кремниевые структуры


общий = БД Техника
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
общий = ЛЕГИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ
общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
общий = МОДЕЛИРОВАНИЕ
общий = ЭЛЕКТРОНИКА
общий = МОДУЛИ (техн.)