Электронный каталог НБ БНТУ

Электронный ресурс
H-7596

Разработать технологический процесс полирования полупроводниковых материалов алмазосодержащими суспензиями на основе высоконаполненных паст [Электронный ресурс]: отчет о НИР (заключительный) : ГБ 3523/3.64 / кол. авт. Белорусский национальный технический университет (Минск); рук. Светлана Владимировна Якубовская; исполн. Николай Михайлович Гурбо, С.Ю. Бабаскина, Александр Анатольевич Корбит; соисполн. А.М. Кузей, Л.В. Кульбицкая. – Электрон. дан. – Минск: [б. и.], 2010. – 1 электрон. опт. диск (CD-ROM). – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/2925. - N ГР 20093190.- Систем. требования: IBM PC; Windows 98 и выше; CD-ROM дисковод; мышь. – Загл. с экрана.

621.921.34
621.922:621.921.34-404.9
621.315.592

общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
общий = КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
общий = ПАСТЫ (техн.)
общий = ПОЛИРОВАНИЕ