Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Смирнов, А.А. - Параметры и состав плазмы HBr в условиях тлеющего разряда постоянного тока
Смирнов, А.А. - Параметры и состав плазмы HBr в условиях тлеющего разряда постоянного тока
Статья
Автор: Смирнов, А.А.
Микроэлектроника: Параметры и состав плазмы HBr в условиях тлеющего разряда постоянного тока
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Смирнов, А.А.
Микроэлектроника: Параметры и состав плазмы HBr в условиях тлеющего разряда постоянного тока
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Смирнов, А.А.
Параметры и состав плазмы HBr в условиях тлеющего разряда постоянного тока / А.А. Смирнов, А.М. Ефремов, В.И. Светцов // Микроэлектроника / гл. ред. К.А. Валиев; учредитель Российская академия наук, Российская академия наук. Физико-технологический институт. – 2010. – Т.39 N6. – С.443-451.
общий = БД Техника
общий = ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ
общий = ПЛАЗМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
общий = ПОСТОЯННЫЙ ТОК
общий = КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
общий = ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
Смирнов, А.А.
Параметры и состав плазмы HBr в условиях тлеющего разряда постоянного тока / А.А. Смирнов, А.М. Ефремов, В.И. Светцов // Микроэлектроника / гл. ред. К.А. Валиев; учредитель Российская академия наук, Российская академия наук. Физико-технологический институт. – 2010. – Т.39 N6. – С.443-451.
общий = БД Техника
общий = ТЛЕЮЩИЕ РАЗРЯДЫ
общий = ПЛАЗМЕННАЯ ЭЛЕКТРОНИКА
общий = ПОСТОЯННЫЙ ТОК
общий = КОМПЬЮТЕРНОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ
общий = ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ