Электронный каталог НБ БНТУ

Отчет
Н-6199

Разработка технологии формирования захороненных слоев с изолирующими и полуизолирующими свойствами в кремнии с использованием геттерирования кислорода или водорода в областях нарушений, созданных имплантацией ионов: отчет о НИР (заключительный) : Т99-289 / кол. авт. Белорусский национальный технический университет (Минск); рук. Евгений Владимирович Журавкевич; исполн. А.Г. Ульяшин, А.В. Мудрый, Анатолий Викторович Францкевич, Наталья Викторовна Францкевич. – Минск: [б. и.], 2002. – 27 с.: ил., прил. - N ГР 20003584. – Библиогр.: с. 25-26.

621.382

общий = КРЕМНИЙ
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
общий = КИСЛОРОД
общий = ГЕТТЕРИРОВАНИЕ