Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Лосякина, Ю.В. - Метод контроля геометрической формы кремниевых подложек интегральных микросхем

Лосякина, Ю.В. - Метод контроля геометрической формы кремниевых подложек интегральных микросхем

Метод контроля геометрической формы кремниевых подложек интегральных микросхем

Книга (аналит. описание)
Автор: Лосякина, Ю.В.
Приборостроение: Метод контроля геометрической формы кремниевых подложек интегральных микросхем : [рассматривается измерение кремниевых пластин интегральных микросхем емкостным, индуктивным и фотоинжекционным методами]
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Книга (аналит. описание)

Лосякина, Ю.В.
Метод контроля геометрической формы кремниевых подложек интегральных микросхем: [рассматривается измерение кремниевых пластин интегральных микросхем емкостным, индуктивным и фотоинжекционным методами] / Ю.В. Лосякина, А.Ю. Луговик, Ростислав Валерьевич Федорцев, Н.С. Хомич // Приборостроение: материалы 61-й научно-технической конференции преподавателей, научных работников, аспирантов, магистрантов и студентов приборостроительных специальностей (5-30 апреля 2005г.) / гл. ред. Владимир Иванович Шамкалович. – Минск: БНТУ, 2005. – С.16-22. – На рус. яз.

621.382.049.77

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2006г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Лазерная техника и технология"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = КРЕМНИЕВЫЕ ПЛАСТИНЫ
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ