Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Ивин, В.В. - Анализ практических применений внеосевых источников в оптической нанолитографии

Ивин, В.В. - Анализ практических применений внеосевых источников в оптической нанолитографии

Анализ практических применений внеосевых источников в оптической нанолитографии

Статья
Автор: Ивин, В.В.
Микроэлектроника: Анализ практических применений внеосевых источников в оптической нанолитографии
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Статья

Ивин, В.В.
Анализ практических применений внеосевых источников в оптической нанолитографии / В.В. Ивин, Т.М. Махвиладзе, К.А. Валиев // Микроэлектроника / гл. ред. К.А. Валиев; учредитель Российская академия наук, Российская академия наук, Отделение информационных технологий и вычислительных систем. – 2004. – T.33 N4. – С.259-272.

621.382.002

общий = БД Техника
общий = ПОЛУПРОВОДНИКИ