Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Круковский, В.А. - Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах

Круковский, В.А. - Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах

Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах

Книга (аналит. описание)
Автор: Круковский, В.А.
Приборостроение - 2025: Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах
Mechanism for processing thin films on photomasks
б.г.
ISBN отсутствует

полный текст

На полку

Книга (аналит. описание)

Круковский, В.А.
Механизм микрообработки тонких пленок на фотошаблонах = Mechanism for processing thin films on photomasks / В.А. Круковский, Р. В. Федорцев, В. А. Юдицкий, А. И. Воронцов // Приборостроение - 2025 = Instrumentation engineering - 2025: материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2025 года, Минск, Республика Беларусь / редакционная коллегия: А. И. Свистун (председатель) [и др.]. – Минск: БНТУ, 2025. – С. 143-146. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/162780.

Исследован механизм обработки тонких пленок на фотошаблонах с помощью коротких лазерных импульсов.
The mechanism of processing thin films on photomasks using short laser pulses was investigated.

539.216:621.3.049.75

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2025г.
труды сотрудников БНТУ = Машиностроительный факультет : кафедра "Технологическое оборудование"
труды сотрудников БНТУ = Физика. Механика. Гидравлика (труды)
общий = ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
общий = ФОТОШАБЛОНЫ
общий = ФОТОЛИТОГРАФИЯ
общий = МИКРООБРАБОТКА