Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Маркевич, М.И.
Методы получения пленок силицидов титана = Methods for obtaining titanium silicide films / М. И. Маркевич, Е. Н. Щербакова // Приборостроение - 2025 = Instrumentation engineering - 2025: материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2025 года, Минск, Республика Беларусь / редакционная коллегия: А. И. Свистун (председатель) [и др.]. – Минск: БНТУ, 2025. – С. 61-62. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/162733.

Представлены методы получения пленок силицидов тугоплавких металлов для изделий микроэлектроники. Акцент делается на формирование силицидов титана методом быстрой термической обработки (БТО). Рассматриваются факторы, ускоряющие протекание реакций формирования силицидов.
Methods for obtaining films of silicides of refractory metals for microelectronics products are presented. The emphasis is on the formation of titanium silicides by rapid thermal annealing (RTA). The factors accelrating the reactions of formation of silicides are considered.

539.2

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2025г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Физика. Механика. Гидравлика (труды)
общий = СИЛИЦИДЫ ТИТАНА
общий = ПЛЕНКИ
общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = ТУГОПЛАВКИЕ МЕТАЛЛЫ