Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Довгаль, М.И.
Влияние быстрой термической обработки на электрофизические свойства слоев силицидов NiPt(V) = Effect of rapid heat treatment on the electrophysical properties of NiPt(V) silicide layers / М.И. Довгаль; М. И. Довгаль, Е. Н. Щербакова, В. А. Лапицкая [и др.] // Приборостроение - 2025 = Instrumentation engineering - 2025: материалы 18-й Международной научно-технической конференции, 13—15 ноября 2025 года, Минск, Республика Беларусь / редакционная коллегия: А. И. Свистун (председатель) [и др.]. – Минск: БНТУ, 2025. – С. 38-39. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/162668.

В работе представлены результаты изучения электрофизических характеристик слоев силицидов Pt-Ni, полученных магнетронным осаждением и последующей быстрой термической обработкой.
The electrophysical properties of magnetron-sputtered Pt-Ni coatings were analyzed following rapid heat treatment.

621.382

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2025г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = СИЛИЦИДЫ
общий = ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА
общий = ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА