Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Конфигурация магнитной системы для формирования разряда низкого давления в магнетронных распылительных системах / В. М. Комаровская [и др.] // Инновационные технологии и образование: международная научно-практическая конференция, 29—30 апреля 2021 г.: в 2 ч. / [редакционная коллегия: А. М. Маляревич (главный редактор) и др.]. – Минск: БНТУ, 2021. - Ч. 1 : . – 2021. – С. 213-217. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/97387. – На рус. яз.

Авторами данной работы показано, что основной проблемой при формировании покрытий с использованием магнетронных распылительных систем является сравнительно высокое давление рабочего газа, при котором возникает магнетронный разряд – порядка 0,1 Па. Проанализированы существующие методы уменьшения рабочего давления МРС ниже уровня 0,1 Па. В данной работе предложена схема МРС с дополнительными магнитами, которая позволит снизить рабочее давление в камере вплоть до 10-2 Па.

621.793

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2021г.
труды сотрудников БНТУ = Металлообработка. Термообработка (труды)
труды сотрудников БНТУ = Инженерно-педагогический факультет : кафедра "Вакуумная и компрессорная техника"
общий = МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
общий = МАГНЕТРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ДАВЛЕНИЕ
общий = снижение
общий = МАГНИТНЫЕ СИСТЕМЫ