Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Мельников, С.Н. - Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонк...
Мельников, С.Н. - Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонк...
Автореферат
Автор: Мельников, С.Н.
Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонк... : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
2019 г.
ISBN отсутствует
Автор: Мельников, С.Н.
Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонк... : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук
2019 г.
ISBN отсутствует
На полку
Автореферат
А-39236
Мельников, С.Н.
Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Мельников Сергей Николаевич; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". – Минск, 2019. – 24 с.: ил. - Резюме на белорусском, русском, английском языках.
общий = МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
общий = МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
общий = МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
общий = ПРОГРАММНЫЕ КОМПЛЕКСЫ
А-39236
Мельников, С.Н.
Комплексное моделирование планарных магнетронных распылительных систем и процессов нанесения тонких пленок металлов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: специальность 05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники / Мельников Сергей Николаевич; Учреждение образования "Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники". – Минск, 2019. – 24 с.: ил. - Резюме на белорусском, русском, английском языках.
общий = МЕТАЛЛИЧЕСКИЕ ПОКРЫТИЯ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
общий = МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ РЕЖИМЫ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ ОБОРУДОВАНИЕ
общий = МАТЕМАТИЧЕСКИЕ МОДЕЛИ
общий = ПРОГРАММНЫЕ КОМПЛЕКСЫ
| Филиал | Всего | Доступно для брони | Доступно для выдачи | Бронирование |
|---|---|---|---|---|
| ЧЗ НР | 1 | - | - | Недоступно |