Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников
Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников
Статья
Автор:
Литье и металлургия: Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников
Obtaining a cathode target of silicides for vacuum ion-plasma sources
б.г.
ISBN отсутствует
Автор:
Литье и металлургия: Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников
Obtaining a cathode target of silicides for vacuum ion-plasma sources
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников = Obtaining a cathode target of silicides for vacuum ion-plasma sources / И. А. Иванов [и др.] // Литье и металлургия / гл. ред. Е.И. Марукович; учредитель Белорусский национальный технический университет (Минск), "Белорусский металлургический завод — управляющая компания холдинга "Белорусская металлургическая компания", открытое акционерное общество (Жлобин), Белорусская Ассоциация литейщиков и металлургов (Минск), "ИНСТИТУТ БЕЛНИИЛИТ", унитарное предприятие (Минск), "Центролит", гомельский литейный завод, Национальная академия наук Беларуси (Минск), Институт технологии металлов (Могилев), Минский тракторный завод, Могилевский металлургический завод, Речицкий метизный завод. – 2018. – №2. – С. 99-102. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/43548. – На рус. яз.
В различных отраслях промышленности широко применяются покрытия на основе силицидов разных металлов с использованием вакуумно-плазменной обработки изделий. Качество таких покрытий определяется степенью химической чистоты катода-мишени, правильным выбором смеси технологических газов, а также величиной ускоряющего потенциала, подаваемого на подложку. Традиционные способы получения многокомпонентных мишеней имеют ряд недостатков, таких, как высокая остаточная пористость, избыточное содержание примесей, а также необходимость использования дорогостоящего оборудования. Перспективным является использование литейных технологий в процессе производства катодов-мишеней. В работе представлены обобщенные результаты экспериментальных исследований особенностей изготовления катодов-мишеней для вакуумных ионно-плазменных источников методами восстановительной и высокоскоростной индукционной плавки. В качестве материала использовали силициды титана, меди и никеля.
621.793
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2018г.
труды сотрудников БНТУ = Механико-технологический факультет : кафедра "Металлургия черных и цветных сплавов"
труды сотрудников БНТУ = Металлообработка. Термообработка (труды)
общий = ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = СИЛИЦИДЫ
общий = ПРОИЗВОДСТВО
общий = КАТОДЫ
Получение катодов-мишеней из силицидов для вакуумных ионно-плазменных источников = Obtaining a cathode target of silicides for vacuum ion-plasma sources / И. А. Иванов [и др.] // Литье и металлургия / гл. ред. Е.И. Марукович; учредитель Белорусский национальный технический университет (Минск), "Белорусский металлургический завод — управляющая компания холдинга "Белорусская металлургическая компания", открытое акционерное общество (Жлобин), Белорусская Ассоциация литейщиков и металлургов (Минск), "ИНСТИТУТ БЕЛНИИЛИТ", унитарное предприятие (Минск), "Центролит", гомельский литейный завод, Национальная академия наук Беларуси (Минск), Институт технологии металлов (Могилев), Минский тракторный завод, Могилевский металлургический завод, Речицкий метизный завод. – 2018. – №2. – С. 99-102. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/43548. – На рус. яз.
В различных отраслях промышленности широко применяются покрытия на основе силицидов разных металлов с использованием вакуумно-плазменной обработки изделий. Качество таких покрытий определяется степенью химической чистоты катода-мишени, правильным выбором смеси технологических газов, а также величиной ускоряющего потенциала, подаваемого на подложку. Традиционные способы получения многокомпонентных мишеней имеют ряд недостатков, таких, как высокая остаточная пористость, избыточное содержание примесей, а также необходимость использования дорогостоящего оборудования. Перспективным является использование литейных технологий в процессе производства катодов-мишеней. В работе представлены обобщенные результаты экспериментальных исследований особенностей изготовления катодов-мишеней для вакуумных ионно-плазменных источников методами восстановительной и высокоскоростной индукционной плавки. В качестве материала использовали силициды титана, меди и никеля.
621.793
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2018г.
труды сотрудников БНТУ = Механико-технологический факультет : кафедра "Металлургия черных и цветных сплавов"
труды сотрудников БНТУ = Металлообработка. Термообработка (труды)
общий = ВАКУУМНО-ПЛАЗМЕННЫЕ ПОКРЫТИЯ
общий = СИЛИЦИДЫ
общий = ПРОИЗВОДСТВО
общий = КАТОДЫ
