Электронный каталог НБ БНТУ

Книга
621.3 Т38

Технологии субмикронных структур микроэлектроники / [А. П. Достанко и др.]; под редакцией А. П. Достанко; Национальная академия наук Беларуси, Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники. – Минск: Беларуская навука, 2018. – 269, [1] с.: ил., табл., граф. - На пер.: Национальная академия наук Беларуси - 90 лет. - ISBN 978-985-08-2298-7: 18.60.

ГРНТИ 47.13.11
621.382.049.77-027.3

общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННЫЕ ИЗДЕЛИЯ
общий = ТЕХНОЛОГИЯ ПРОИЗВОДСТВА
общий = МИКРОЭЛЕКТРОННАЯ ТЕХНОЛОГИЯ
общий = ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ
общий = ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ЛАЗЕРНАЯ ОБРАБОТКА
общий = ЭЛЕКТРОХИМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА
общий = СУБМИКРОННЫЕ СТРУКТУРЫ
общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВАЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = СВЕРХБОЛЬШИЕ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = СУБМИКРОННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ
общий = ПЛАЗМЕННЫЕ ТЕХНОЛОГИИ