Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Frantskevich, N.V. - Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafe...
Frantskevich, N.V. - Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafe...
Статья
Автор: Frantskevich, N.V.
Acta physica Polonica A: Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafe...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Frantskevich, N.V.
Acta physica Polonica A: Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafe...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Frantskevich, N.V.
Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafer Surface / N.V. Frantskevich, A.K. Fedotov, A.V. Frantskevich, N.V. Mazanik // Acta physica Polonica A. – 2014. – Vol.125 N6. – P.1332-1334. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/34405.
The goal of this work is the micro-Raman study of molecular hydrogen localized in cone-shaped defects, which are formed on the surface of previously helium implanted and annealed Czochralski Si wafers as a result of hydrogen plasma treatment
621:544.538
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2014г.
труды сотрудников БНТУ = Физика. Механика. Гидравлика (труды)
труды сотрудников БНТУ = Факультет информационных технологий и робототехники : кафедра "Техническая физика"
труды сотрудников БНТУ = Научно-исследовательский политехнический институт (НИПИ) : НИЛ оптико-электронного приборостроения
общий = ВОДОРОД
общий = ПОВЕРХНОСТНЫЕ ДЕФЕКТЫ
общий = ЛАЗЕРЫ
общий = КРЕМНИЙ
общий = ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
Frantskevich, N.V.
Micro-Raman Investigation of Hydrogen Localized in Cone-Shaped Defects Formed on the Silicon Wafer Surface / N.V. Frantskevich, A.K. Fedotov, A.V. Frantskevich, N.V. Mazanik // Acta physica Polonica A. – 2014. – Vol.125 N6. – P.1332-1334. – Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/34405.
The goal of this work is the micro-Raman study of molecular hydrogen localized in cone-shaped defects, which are formed on the surface of previously helium implanted and annealed Czochralski Si wafers as a result of hydrogen plasma treatment
621:544.538
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2014г.
труды сотрудников БНТУ = Физика. Механика. Гидравлика (труды)
труды сотрудников БНТУ = Факультет информационных технологий и робототехники : кафедра "Техническая физика"
труды сотрудников БНТУ = Научно-исследовательский политехнический институт (НИПИ) : НИЛ оптико-электронного приборостроения
общий = ВОДОРОД
общий = ПОВЕРХНОСТНЫЕ ДЕФЕКТЫ
общий = ЛАЗЕРЫ
общий = КРЕМНИЙ
общий = ПОВЕРХНОСТНАЯ ОБРАБОТКА
