Электронный каталог НБ БНТУ

Многотомник

Анализ путей развития оборудования для нанесения тонких пленок в вакууме / С.А. Ашинов, И.Г. Блинов, Е.А. Деулин, Ю.Я. Мелехин, Ю.А. Хруничев. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1978. – (Обзоры по электронной технике. Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) .
Книга
621.3 А64

Ч.3 : Повышение надежности исполнительных механизмов УВН: (по данным отечественной и зарубежной печати за 1968-1978 гг.) / С.А. Ашинов, И.Г. Блинов, Е.А. Деулин, Ю.Я. Мелехин, Ю.А. Хруничев. – Москва: ЦНИИ "Электроника", 1978. – 39 с.: ил. – (Обзоры по электронной технике; вып.14(566). Серия 7, Технология, организация производства и оборудование) : 0.39.

621.382.049.77-416.002

общий = ТОНКИЕ ПЛЕНКИ
общий = НАНЕСЕНИЕ ПОКРЫТИЙ
общий = ВАКУУМНЫЕ ТЕХНОЛОГИИ