Электронный каталог НБ БНТУ

Многотомник

Базовые технологические процессы изготовления полупроводниковых приборов и интегральных микросхем на кремнии: в 3 т. / О.Ю. Наливайко, В.А. Солодуха, В.А. Пилипенко, В.В. Колос, А.И. Белоус, Т.И. Липинская, А.Р. Челядинский, Ю.Б. Васильев, Л.И. Архипова, Н.А. Бахматова, А.Б. Медведева, С.В. Гранько, В.Я. Соловьев, Ф.Ф. Комаров, А.В. Семченко, Д.А. Голосов, В.В. Нелаев, Р.В. Стемпицкий, А.Ф. Керенцев, Г.Г. Чигирь, А.Н. Петлицкий, Т.М. Любич; под ред. А.С. Турцевич. – Минск: Интегралполиграф, 2013. - ISBN 978-985-684-543-0.
Книга
621.3 Б17

Т.3 : / О.Ю. Наливайко, В.А. Солодуха, В.А. Пилипенко, В.В. Колос, А.И. Белоус, Т.И. Липинская, А.Р. Челядинский, Ю.Б. Васильев, Л.И. Архипова, Н.А. Бахматова, А.Б. Медведева, С.В. Гранько, В.Я. Соловьев, Ф.Ф. Комаров, А.В. Семченко, Д.А. Голосов, В.В. Нелаев, Р.В. Стемпицкий, А.Ф. Керенцев, Г.Г. Чигирь, А.Н. Петлицкий, Т.М. Любич; под ред. А.С. Турцевич. – 2013. – 783 с.: ил. - . - ISBN 978-985-684-546-1: 12.50.

ГРНТИ 47.33.31
621.383.2/.3.049.77

общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКИЙ КРЕМНИЙ
общий = КРЕМНИЙ
общий = ЭПИТАКСИАЛЬНЫЕ ПЛЕНКИ