Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Светцов, В.И. - Плазмохимическое и ионно-химическое травление полупроводниковых материалов типа АIIIВV

Светцов, В.И. - Плазмохимическое и ионно-химическое травление полупроводниковых материалов типа АIIIВV

Плазмохимическое и ионно-химическое травление полупроводниковых материалов типа АIIIВV

Статья
Автор: Светцов, В.И.
Обзоры по электронной технике. Серия 6: Материалы: Плазмохимическое и ионно-химическое травление полупроводниковых материалов типа АIIIВV
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Статья

Светцов, В.И.
Плазмохимическое и ионно-химическое травление полупроводниковых материалов типа АIIIВV / В.И. Светцов, Н.Г. Данилов, Т.А. Чеснокова // Обзоры по электронной технике. Серия 6: Материалы / кол. авт. Центральный научно-исследовательский институт "Электроника". – 1989. – Вып.6. – С. 1-47.

621.315.592:621.794.4

общий = БД Информационные издания
общий = ИОННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
общий = ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ
общий = ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ МАТЕРИАЛЫ
общий = ХИМИЧЕСКОЕ ТРАВЛЕНИЕ