Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Редин, В.М. - Генерация аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требу...
Редин, В.М. - Генерация аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требу...
Статья
Автор: Редин, В.М.
Обзоры по электронной технике. Серия 3: Микроэлектроника: Генерация аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требу...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Редин, В.М.
Обзоры по электронной технике. Серия 3: Микроэлектроника: Генерация аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требу...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Редин, В.М.
Генерация аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты / В.М. Редин, В.И. Ушаков, В.И. Каракеян, М.Л. Минкин, В.З. Гребенкин // Обзоры по электронной технике. Серия 3: Микроэлектроника / кол. авт. Центральный научно-исследовательский институт "Электроника". – 1989. – Вып.2. – С. 1-53.
004.087.2:628.5
общий = БД Информационные издания
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ПОВЕРХНОСТИ
общий = ПРОИЗВОДСТВО
Редин, В.М.
Генерация аэрозолей оборудованием микроэлектроники и аспекты создания технологической среды требуемой чистоты / В.М. Редин, В.И. Ушаков, В.И. Каракеян, М.Л. Минкин, В.З. Гребенкин // Обзоры по электронной технике. Серия 3: Микроэлектроника / кол. авт. Центральный научно-исследовательский институт "Электроника". – 1989. – Вып.2. – С. 1-53.
004.087.2:628.5
общий = БД Информационные издания
общий = ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ
общий = ПОВЕРХНОСТИ
общий = ПРОИЗВОДСТВО