Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Валиев, К.А. - Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному...
Валиев, К.А. - Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному...
Статья
Автор: Валиев, К.А.
Микроэлектроника: Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Валиев, К.А.
Микроэлектроника: Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Валиев, К.А.
Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному, методом дефокусировки электронного зонда РЭМ / К.А. Валиев, В.П. Гавриленко, Е.Н. Жихарев, М.А. Данилова, В.А. Кальнов, Ю.В. Ларионов, В.Б. Митюхляев, А.А. Орликовский, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов // Микроэлектроника / гл. ред. К.А. Валиев; учредитель Российская академия наук, Российская академия наук. Физико-технологический институт. – 2010. – Т.39 N6. – С.420-425.
На РЭМ исследованы одиночные кремниевые элементы нанорельефа с разной шириной
621.382
общий = БД Техника
общий = ЛИНЕЙНЫЕ РАЗМЕРЫ
общий = КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
общий = ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ
общий = ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ
Валиев, К.А.
Измерение линейных размеров кремниевых элементов нанорельефа с профилем, близким к прямоугольному, методом дефокусировки электронного зонда РЭМ / К.А. Валиев, В.П. Гавриленко, Е.Н. Жихарев, М.А. Данилова, В.А. Кальнов, Ю.В. Ларионов, В.Б. Митюхляев, А.А. Орликовский, А.В. Раков, П.А. Тодуа, М.Н. Филиппов // Микроэлектроника / гл. ред. К.А. Валиев; учредитель Российская академия наук, Российская академия наук. Физико-технологический институт. – 2010. – Т.39 N6. – С.420-425.
На РЭМ исследованы одиночные кремниевые элементы нанорельефа с разной шириной
621.382
общий = БД Техника
общий = ЛИНЕЙНЫЕ РАЗМЕРЫ
общий = КРЕМНИЕВЫЕ СТРУКТУРЫ
общий = ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ
общий = ИЗМЕРИТЕЛЬНЫЕ ПРИБОРЫ
