Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Жевлакова, Т.А. - Метрологические проблемы изготовления зеркал для проекционной нанолитографии

Жевлакова, Т.А. - Метрологические проблемы изготовления зеркал для проекционной нанолитографии

Метрологические проблемы изготовления зеркал для проекционной нанолитографии

Статья
Автор: Жевлакова, Т.А.
Оптический журнал: Метрологические проблемы изготовления зеркал для проекционной нанолитографии
б.г.
ISBN отсутствует

полный текст

На полку

Статья

Жевлакова, Т.А.
Метрологические проблемы изготовления зеркал для проекционной нанолитографии / Т.А. Жевлакова, С.В. Любарский // Оптический журнал: научно-технический журнал / гл. ред. А.С. Тибилов; учредитель Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова, Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики, Оптическое общество им. Д.С. Рождественского. – 2001. – Т.68, N7. – С. 40-48. – Режим доступа : http:Libsrv24.library.bntu.bytextScanZhevlakova_TAdoc1.pdf.

Проведен анализ современных средств контроля рентгеновских зеркал, предназначенных для проекционной нанолитографии. Рассмотрены проблемы измерений оптической формы, шероховатости, рассеяния и отражения в спектральной области 10-14 нм.

общий = МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
общий = ОПТИЧЕСКИЕ ДЕТАЛИ
общий = ШЕРОХОВАТОСТЬ ПОВЕРХНОСТИ