Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Frantskevich, N.V. - Buried insulating layer formation in Cz Si wafers after helium implantation, nitrogen plasma trea...
Frantskevich, N.V. - Buried insulating layer formation in Cz Si wafers after helium implantation, nitrogen plasma trea...
Статья
Автор: Frantskevich, N.V.
Diffusion and Defect Data Pt.B: Solid State Phenomena: Buried insulating layer formation in Cz Si wafers after helium implantation, nitrogen plasma trea...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Frantskevich, N.V.
Diffusion and Defect Data Pt.B: Solid State Phenomena: Buried insulating layer formation in Cz Si wafers after helium implantation, nitrogen plasma trea...
б.г.
ISBN отсутствует
На полку
Статья
Frantskevich, N.V.
Buried insulating layer formation in Cz Si wafers after helium implantation, nitrogen plasma treatment and annealing / N.V. Frantskevich, A.V. Frantskevich, A.K. Fedotov, A.V. Mazanik // Diffusion and Defect Data Pt.B: Solid State Phenomena. – 2009. – N156-158. – P.91-94. - Пер. загл.:[Образование захороненного изолирующего слоя в пластинах Cz Si после имплантации гелия, азота плазменной обработки и отжига].
54
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2009г.
труды сотрудников БНТУ = Факультет информационных технологий и робототехники : кафедра "Техническая физика"
труды сотрудников БНТУ = Научно-исследовательский политехнический институт (НИПИ) : НИЛ оптико-электронного приборостроения
труды сотрудников БНТУ = Химия. Химические науки. Химическая технология. Деревообработка (труды)
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
общий = КРЕМНИЙ
общий = ГЕТТЕРИРОВАНИЕ
Frantskevich, N.V.
Buried insulating layer formation in Cz Si wafers after helium implantation, nitrogen plasma treatment and annealing / N.V. Frantskevich, A.V. Frantskevich, A.K. Fedotov, A.V. Mazanik // Diffusion and Defect Data Pt.B: Solid State Phenomena. – 2009. – N156-158. – P.91-94. - Пер. загл.:[Образование захороненного изолирующего слоя в пластинах Cz Si после имплантации гелия, азота плазменной обработки и отжига].
54
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2009г.
труды сотрудников БНТУ = Факультет информационных технологий и робототехники : кафедра "Техническая физика"
труды сотрудников БНТУ = Научно-исследовательский политехнический институт (НИПИ) : НИЛ оптико-электронного приборостроения
труды сотрудников БНТУ = Химия. Химические науки. Химическая технология. Деревообработка (труды)
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
общий = КРЕМНИЙ
общий = ГЕТТЕРИРОВАНИЕ
