Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Saad, A.M. - SEM and SIMS study of the buried SixNy layer formed in silicon

Saad, A.M. - SEM and SIMS study of the buried SixNy layer formed in silicon

SEM and SIMS study of the buried SixNy layer formed in silicon

Статья
Автор: Saad, A.M.
Vacuum: SEM and SIMS study of the buried SixNy layer formed in silicon
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Статья

Saad, A.M.
SEM and SIMS study of the buried SixNy layer formed in silicon / A.M. Saad, A.V. Frantskevich, A.K. Fedotov, E.I. Rau, A.V. Mazanik, N.V. Frantskevich, P. Wegierek, P. Zukowski // Vacuum. – 2009. – Vol.83 N1. – P.107-110. - Пер. загл.: [SEM и SIMS изучение захороненного SixNy слоя, образовавшегося в кремнии].

537.533.35

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2009г.
труды сотрудников БНТУ = Научно-исследовательский политехнический институт (НИПИ) : НИЛ оптико-электронного приборостроения
труды сотрудников БНТУ = Факультет информационных технологий и робототехники : кафедра "Техническая физика"
труды сотрудников БНТУ = Физика. Механика. Гидравлика (труды)
общий = ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ
общий = ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ
общий = КРЕМНИЙ
общий = ГЕТТЕРИРОВАНИЕ