Электронный каталог НБ БНТУ

Книга (аналит. описание)

Колешко, Владимир Михайлович.
Инвариантность микротехнологий: [проведен анализ свойства инвариантности технологий микроэлектроники и микромеханики, определены основные классы методов реализации инвариантных микротехнологий (конструктивные, физические, инструментальные) и представлены примеры разработанных микротехнологий каждого класса инвариантности] / Владимир Михайлович Колешко, Анатолий Владимирович Гулай // Машиностроение: республиканский межведомственный сборник научных трудов / Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет. – Минск: Вышэйшая школа, 1978 -. - Вып.21, т.1 : . / пред. редкол. Борис Михайлович Хрусталев. – Минск: БНТУ, 2005. – С.225-233. – На рус. яз.

621.382.049.77

общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2006г.
труды сотрудников БНТУ = Машиностроительный факультет : кафедра "Интеллектуальные системы"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = ИНВАРИАНТНОСТЬ
общий = МИКРОТЕХНОЛОГИЯ