| 1. Волчкевич, Л.И. Автоматизация производства электронной техники : [учебное пособие для средних профессионально-технических училищ] / Л.И. Волчкевич. — Москва : Высшая школа, 1988. — 287 с. : ил. — (Профтехобразование) : 0.70. | --- |
| 2. Пасынков, В.В. Материалы электронной техники : [учебник для вузов по специальностям электронной техники] / В.В. Пасынков. — 3-е изд. — СПб. : Лань, 2001. — 367 с. : ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература) . — ISBN 5-8114-0409-3 : 15100.00. | --- |
| 3. Черноусов, Н.П. Материалы электронной техники : [учебник для средних специальных учебных заведений по специальности 2004 "Эксплуатация оборудования для производства изделий электронной техники"] / Н.П. Черноусов. — Москва : Радио и связь, 1992. — 208 с. : ил. — (Учебник для техникумов) . — ISBN 5-256-01015-8 : 11.25. | --- |
| 4. Торнер, Р.В. Оборудование заводов по переработке пластмасс : [учебное пособие для вузов по специальности "Технология переработки пластических масс"] / Р.В. Торнер. — Москва : Химия, 1986. — 400 с. : ил. — (Для высшей школы) : 1.20. | --- |
| 5. Мурашкевич, А.Н. Оборудование производств материалов и изделий электронной техники : [учебное пособие для вузов по курсу "Оборудование и основы проектирования предприятий подотрасли" для специальности 1-48 01 01 "Химическая технология неорганических веществ, материалов и изделий"] / А.Н. Мурашкевич. — Минск : БГТУ, 2005. — 240 с. : ил. — (Учебники БГТУ) . — ISBN 985-434-394-4 : 15000.00. | --- |
| 6. Крапухин, В.В. Технология материалов электронной техники : теория процессов полупроводниковой технологии : [учебник для вузов по направлению "Электроника и микроэлектроника" и специальности "Материалы и компоненты твердотельной электроники"] / В.В. Крапухин. — Изд. 2-е, перераб. и доп. — Москва : МИСИС, 1995. — 492 с. : ил. — ISBN 5-87623-004-9 : 1602.00. | --- |
| 7. Моряков, О.С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : [учебник для профессионально-технических училищ] / О.С. Моряков. — Изд. 4-е, перераб. и доп. — Москва : Высшая школа, 1989. — 239 с. : ил. — ISBN 5-06-000300-0 : 0.45. | --- |
| 8. Моряков, О.С. Устройство и наладка оборудования полупроводникового производства : [учебник для средних профессионально-технических училищ] / О.С. Моряков. — Изд. 3-е, перераб. и доп. — Москва : Высшая школа, 1981. — 336 с. : ил. — (Профтехобразование. ) : 0.80. | --- |