| 1. Розанов, Л.Н. Вакуумная техника : [учебник для вузов по специальности "Полупроводниковое и электровакуумное машиностроение"] / Л.Н. Розанов. — Москва : Высшая школа, 1982. — 206, [1] c. : ил. — (Высшее образование) : 0.45. | 1.00 |
| 2. Розанов, Л.Н. Вакуумная техника : [учебник для вузов по специальности "Электронное машиностроение" направления "Электроника и микроэлектроника"] / Л.Н. Розанов. — Изд. 3-е, перераб. и доп. — Москва : Высшая школа, 2007. — 391 с. : ил. — (Для высших учебных заведений. ) . — ISBN 5-06-005521-4 : 71744.00. | 1.00 |
| 3. Вакуумная техника : Справочник / Е.С. Фролов. — 2-е изд., перераб. и доп. — Москва : Машиностроение, 1992. — 471 с. : ил. — Режим доступа : https://elib.bntu.by/handle/data/897. — Авт. указаны на обор. тит. л. — ISBN 5-217-01409-1 : 78000.00. | 1.00 |
| 4. Сушков, А.Д. Вакуумная электроника : физико-технические основы: учебное пособие [для вузов по направлению "Электроника и микроэлектроника"] / А.Д. Сушков. — СПб. ; М. ; Краснодар : Лань, 2004. — 462 с. : ил. — (Учебники для вузов. Специальная литература) . — Режим доступа : https://elib.bntu.by/handle/data/1641. — ISBN 5-8114-0530-8 : 45000.00. | 1.00 |
| 5. Ивановский, Г.Ф. Ионно-плазменная обработка материалов / Г.Ф. Ивановский. — Москва : Радио и связь, 1986. — 232 с. : ил. : 1.20. | 1.00 |
| 6. Пипко, А.И. Основы вакуумной техники : [учебник для средних специальных учебных заведений по специальностям 2002- "Производство изделий электронной техники" и 2004- "Эксплуатация оборудования для производства изделий электронной техники"] / А.И. Пипко. — Москва : Энергоатомиздат, 1992. — 335 с. : ил., табл. — (Для учащихся техникумов) . — ISBN 5-283-00589-5 : 43.75. | 1.00 |
| 7. Плазменно-вакуумные покрытия / Жорж Адамович Мрочек. — Минск : Технопринт, 2004. — 368 с. : ил. — Авт. указаны на обор. тит. л. — ISBN 985-464-444-8 : 20000.00. | 1.00 |
| 8. Поплавский, В.В. Техника высокого вакуума : [учебное пособие для специальности "Химическая технология производства и переработки неорганических материалов" вузов] / В.В. Поплавский. — Минск : БрГТУ, 2001. — 363 с. : ил. — ISBN 985-434-119-4 : 1496.00. | 1.00 |
| 9. Балохонов, Дмитрий Валентинович. Технологические среды : пособие для студентов специальности 1-41 01 01 "Технология материалов и компонентов электронной техники" / Д. В. Балохонов ; Министерство образования Республики Беларусь, Белорусский национальный технический университет, Кафедра "Микро- и нанотехника". — Минск : БНТУ, 2018. — 71, [1] с. : ил., табл., схемы. — Режим доступа : https://rep.bntu.by/handle/data/49483. — 5044. — ISBN 9789855830499 : 0.70. | 1.00 |
| 10. Березин, А.С. Технология и конструирование интегральных микросхем : [учебное пособие для втузов] / А.С. Березин. — Москва : Радио и связь, 1983. — 232 с. : ил. : 0.80. | 1.00 |
| 11. Березин, А.С. Технология и конструирование интегральных микросхем : [учебное пособие для вузов по специальностям "Физика и технология материалов и компонентов электронной техники" и "Микроэлектроника и полупроводниковые приборы"] / А.С. Березин. — Москва : Радио и связь, 1992. — 320 с. : ил. — ISBN 5-256-01014-X : 10000.00. | 1.00 |
| 12. Электронно-лучевая, светолучевая и плазменная обработка материалов : учебно-методическое пособие / Михаил Григорьевич Киселев. — Минск : БНТУ, 2005. — 143 с. : ил. — 2854. — ISBN 978-985-479-350-4 (9854793508) : 17000.00. | 1.00 |