| Наименования дисциплин в соответствии со структурой образовательной программы по годам обучения | Количество обучающихся, изучающих дисциплину | | Обеспечение обучающихся основной учебной и учебно-методической литературой и информационными ресурсами |
| Перечень и реквизиты литературы (автор, название, год и место издания) или адрес ресурса (не более 5-ти на дисциплину) | Количество экз./чел. |
|
| Конструирование и расчет компонентов микросистемной техники | --- |
| 1. Ваганов, В.И. Интегральные тензопреобразователи / В.И. Ваганов. — Москва : Энергоатомиздат, 1983. — 137 с. : ил. : 0.50. | --- |
| 2. Гридчин, А.В. Микродатчики и микросистемы : краткий курс лекций : учебное пособие / А. В. Гридчин ; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Новосибирский государственный технический университет, [Факультет радиотехники и электроники]. — Новосибирск : НГТУ, 2021. — 224, [1] с. : ил. — Содерж.: Общие понятия о микросистемах ; Введение в микросистемную технику ; Сенсор как измерительный прибор ; Основы проектирования микросистем ; Компьютерное моделирование сенсоров и микросистем ; Идеология моделирования в ANSYS ; Механические сенсоры и микросистемы ; Базовые принципы измерения давления и приборы на их основе ; Давление и его измерение ; Тензорезистивные сенсоры давления ; Емкостные сенсоры давления ; Акселерометры на основе кремния ; Другие механические сенсоры и микросистемы ; Ключи, переключаемые давлением ; Резонансные сенсоры давления ; Микросистемные микрофоны ; Тензорезистивные микрофоны ; Емкостные микрофоны ; Пьезоэлектрические микрофоны ; FET-микрофоны ; Тактильные сенсоры ; Введение в микрофлюидные системы ; Расходомеры ; Сенсоры плотности и вязкости ; Клапаны ; Пневматические клапаны ; Термопневматические клапаны ; Пьезоэлектрические клапаны ; Электростатические клапаны ; Микромеханические насосы ; Термические сенсоры и микросистемы ; Механизмы теплообмена ; Электротепловая аналогия ; Термические газовые сенсоры ; Феноменологическое описание конвективного теплообмена ; Критерии подобия ; Термоанемометры с металлической нитью ; Термоанемометры из поликристаллического кремния ; Термические вакуумметры ; Конструктивные особенности манометров Пирани ; Оптические сенсоры и микросистемы ; Источники и приемники излучения: основные термины и определения ; Фотоэлектрические сенсоры прямого действия ; Фоторезисторы ; Фотодиоды ; Солнечные ячейки ; Лавинные диоды (ЛФД) ; МДП-фотодиоды (диоды Шоттки) ; Фотоэлектрические сенсоры непрямого действия ; Термопары ; Пирометры ; Болометры ; Тепловизоры ; Ячейки Голея ; Магнитные сенсоры и микросистемы ; Сенсоры Холла и магниторезисторы ; Магниторезистивный эффект ; Магнитные диоды и транзисторы ; Магнитодиоды ; Магнитотранзисторы ; Двухколлекторные магнитотранзисторы ; Полевые магнитотранзисторы ; Химические сенсоры и микросистемы ; Сенсоры прямого действия ; Каталитические детекторы газа ; Металлооксидные сенсоры ; Электрохимические сенсоры ; Эластомерные химические сенсоры ; Химические полевые транзисторы ; Составные химические сенсоры ; Микрокалориметры ; Оптические химические сенсоры ; Биохимические сенсоры ; Гравиметрические сенсоры ; Энзимные сенсоры ; Общие принципы химических измерений ; Жидкостная и газовая хроматография ; Масс-спектрометрия ; Сенсоры влажности ; Конденсационный гигрометр ; Сорбционные гигрометры ; Сенсоры ядерного излучения ; Альфа-излучение ; Бета-излучение ; Гамма-излучение ; Нейтронное излучение ; Детекторы ядерного излучения ; Сцинтилляционные счетчики ; Счетчики Гейгера-Мюллера ; Ионизационная камера ; Полупроводниковые детекторы ; Сенсоры на основе превращений ; Черенковские счетчики ; Тепловые детекторы ; Термолюминесцентные детекторы ; Коллиматоры. — ISBN 9785778245129 : 70.00. | --- |
| 3. Распопов, В.Я. Микромеханические приборы : [учебное пособие для студентов вузов, обучающихся по специальности "Приборостроение"] / В.Я. Распопов. — Москва : Машиностроение, 2007. — 399 с. : ил., табл. — (Для вузов) . — ISBN 5-217-03360-6 : 144270.00. | --- |
|