Электронный каталог НБ БНТУ

rus

Научная библиотека БНТУ
Режим работы: Пн-Пт.
- читальные залы с 9:00 до 20:00
- абонементы с 9:00 до 19:00
Сб. с 9:00 до 16:45. Вс. - выходной.
Адреса: г. Минск, ул. Я. Коласа, 16 (читальные залы)
пр. Независимости, 65 (абонементы и читальные залы)

ОНЛАЙН-ЗАКАЗ книг из каталога
ФИЛИАЛЫ
КНИГООБЕСПЕЧЕННОСТЬ

Поиск :

Личный кабинет :

Электронный каталог: Боков, Ю.С. - Технология субмикронной фотолитографии: современное состояние, перспективы развития и применения

Боков, Ю.С. - Технология субмикронной фотолитографии: современное состояние, перспективы развития и применения

Технология субмикронной фотолитографии: современное состояние, перспективы развития и применения

Статья
Автор: Боков, Ю.С.
Обзоры по электронной технике. Серия 3: Микроэлектроника: Технология субмикронной фотолитографии: современное состояние, перспективы развития и применения
б.г.
ISBN отсутствует

На полку

Статья

Боков, Ю.С.
Технология субмикронной фотолитографии: современное состояние, перспективы развития и применения / Ю.С. Боков, А.Б. Невский, В.М. Фролов // Обзоры по электронной технике. Серия 3: Микроэлектроника / кол. авт. "Электроника", институт (Москва). – 1988. – Вып.6. – С. 1-35.

621.3.049.77-027.22:776

общий = БД Информационные издания
общий = ФОТОЛИТОГРАФИЯ