Поиск :
Личный кабинет :
Электронный каталог: Маркевич, М.И. - Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основ...
Маркевич, М.И. - Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основ...
Статья
Автор: Маркевич, М.И.
Наука и техника: Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основ...
б.г.
ISBN отсутствует
Автор: Маркевич, М.И.
Наука и техника: Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основ...
б.г.
ISBN отсутствует
Статья
Маркевич, М.И.
Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов / М.И. Маркевич, А.М. Чапланов, Елена Николаевна Щербакова // Наука и техника = Science & Technigue: международный научно-технический журнал / гл. ред. Федор Алексеевич Романюк; учредитель Белорусский национальный технический университет (Минск). – 2013. – N2. – С.63-66. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/5522. - Продолжение. Начало: N5, 2012.
Определены оптимальные параметры импульсного фотонного отжига для формирования на кремнии тонких пленок
общий = БД Техника
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2013г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = КРЕМНИЙ
общий = ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ
общий = НАКОПИТЕЛИ (вычисл. техника)
общий = ДИЭЛЕКТРИКИ
Маркевич, М.И.
Влияние импульсного фотонного отжига на структуру и фазовый состав тонкопленочных систем на основе кремния и переходных металлов / М.И. Маркевич, А.М. Чапланов, Елена Николаевна Щербакова // Наука и техника = Science & Technigue: международный научно-технический журнал / гл. ред. Федор Алексеевич Романюк; учредитель Белорусский национальный технический университет (Минск). – 2013. – N2. – С.63-66. – Режим доступа : http://rep.bntu.by/handle/data/5522. - Продолжение. Начало: N5, 2012.
Определены оптимальные параметры импульсного фотонного отжига для формирования на кремнии тонких пленок
общий = БД Техника
общий = БД Труды научных работников БНТУ : 2013г.
труды сотрудников БНТУ = Приборостроительный факультет : кафедра "Микро- и нанотехника"
труды сотрудников БНТУ = Электроника. Радиоэлектроника (труды)
общий = КРЕМНИЙ
общий = ЭЛЕКТРОНОГРАФИЯ
общий = НАКОПИТЕЛИ (вычисл. техника)
общий = ДИЭЛЕКТРИКИ